TECAPEEK CMP natural
针对CMP研磨环的PEEK管材
TECAPEEK CMP natural是专门为CMP研磨环应用而开发的材料，是恩欣格半导体行业产品系列中的一员。它是一款以Victrex®PEEK聚合物为基材的未填充PEEK (聚醚醚酮) 塑料材料。
相较于标准PEEK塑料，在加工成CMP研磨环时，使用这款特殊的聚醚醚酮材料可减少内槽磨损 (也称为side attack)，从而显著降低晶圆缺陷的风险。在CMP研磨环材料中，TECAPEEK CMP材料具有最佳的磨损和摩擦特性、机械性能、尺寸稳定性和耐温性，因此能够实现研磨环最长的使用寿命。
由于PEEK塑料的耐磨性是PPS的三倍，TECAPEEK CMP natural材料的耐磨性比竞争对手的PEEK产品高20%，因此在使用寿命方面有明显优势。
一般来说，CMP耗材的更换周期是使用年限最短的耗材 (通常是研磨垫) 的倍数。因此，研磨环的更换时机往往与研磨垫的 "停车"时间相一致。例如，在某些条件下，一个PPS研磨环的使用寿命可以持续约4次研磨垫更换，一个标准PEEK研磨环使用寿命可以持续最多12次研磨垫更换，而使用TECAPEEK CMP材料的研磨环可以持续最多14次研磨垫更换。这对环的交换率和总持有成本有显著且正面的冲击。
恩欣格公司不仅优化了材料特性，还开发了特殊管材尺寸，以便更好地适应CMP研磨环的典型尺寸，从而减少加工过程中的浪费和降低成本。例如，与外径360/内径290毫米传统尺寸相比，使用外径350毫米/内径300毫米尺寸的管材可以节省27%的材料成本。
与恩欣格所有半导体级材料一样，TECAPEEK CMP natural管材的生产符合半导体的精确复制要求 (也称为精确复制或CE)，与工业级PEEK相比，它的质量控制更为严格。与标准工业级PEEK塑料相比，额外的质量控制和措施降低了材料的杂质风险，改善了其内部应力和尺寸稳定性。我们可以确保TECATRON SX natural材料符合RoHS指令2011/65/EU《电气设备中有害物质限制》规定的限制，也可以根据要求进一步提供符合性声明。
我们可以利用使用寿命相对较短的材料来应对那些要求材料成本更低的CMP研磨环的应用，恩欣格提供一款PPS牌号： TECATRON CMP natural, 它也具有适用于CMP研磨环的特殊性能。对于其他不需要这种特殊性能的半导体应用，恩欣格公司拥有一款更具性价比的半导体级PEEK牌号 - TECAPEEK SX natural，可提供板材、棒材和管材。
