TECATRON CMP natural

用于CMP研磨环的未填充PPS管材

TECATRON CMP natural是一种未填充PPS塑料 (聚苯硫醚),专门针对CMP研磨环应用而优化,因此是恩欣格半导体行业产品系列中的一员。TECATRON CMP natural材料具有独特的性能,相比标准PPS聚合物,在用作CMP研磨环时能减少微划痕和晶圆级缺陷。TECATRON CMP natural的原名是TECATRON SE natural。

材料选择的关键挑战是CMP研磨环材料性能的微小差异将影响衬垫凸起的形状。这种改变将导致不同数量的衬垫碎片,并影响碎片夹带的程度,进而对CMP工艺的整体性能产生重大影响。研究表明,TECATRON CMP在一定程度上磨损研磨垫,因此研磨垫粗糙度得到改善,从而提高了材料的去除率,同时也减少了缺陷。(见研究报告,此产品在文章中被称为TECATRON SE,是TECATRON CMP材料的旧称) 

与恩欣格所有半导体级材料一样,TECATRON CMP natural管材的生产符合半导体的精确复制要求 (也称为精确复制或CE),与工业级PPS相比,它的质量控制更为严格。
与标准工业级PPS塑料相比,额外的质量控制和措施降低了材料的杂质风险,改善了其内部应力和尺寸稳定性。

恩欣格公司不仅优化了材料特性,还开发了特殊管材尺寸,以便更好地适应CMP研磨环的典型尺寸,从而减少加工过程中的浪费和降低成本。例如,与外径360/内径290毫米传统尺寸相比,使用外径350毫米/内径300毫米尺寸的管材可以节省27%的材料成本。

对于要求使用年限更长的CMP研磨环,恩欣格可提供一款基于未填充PEEK的材料TECAPEEK CMP natural,它也具有适用于CMP研磨环的特殊性能。对于其他不需要这种特殊性能的半导体应用,恩欣格公司拥有一款更具性价比的半导体级PPS材料 - TECATRON SX natural,可提供板材、棒材和管材。

 

合规性

事实

化学名称
PPS (聚苯硫醚)
颜色
米黄色
密度
1.36 g/cm3

主要特点

  • 热变形温度高
  • 良好的耐化学性
  • 耐高能辐射
  • 高强度
  • 良好的尺寸稳定性
  • 高硬度
  • 良好的抗蠕变性

目标行业

技术细节


  • product-technical-detail-collapse-item-0-lvl-1
    机械性能 性能值 单位 参数 标准
    弹性模量(拉伸测试) 4100 MPa 1mm/min DIN EN ISO 527-2
    拉伸强度 102 MPa 50mm/min DIN EN ISO 527-2
    屈服拉伸强度 100 MPa 50mm/min DIN EN ISO 527-2
    屈服伸长率 4 % 50mm/min DIN EN ISO 527-2
    断裂伸长 4 % 50mm/min DIN EN ISO 527-2
    弯曲强度 151 MPa DIN EN ISO 178
    弹性模量(弯曲测试) 4000 MPa 2mm/min, 10 N DIN EN ISO 178
    抗压模量 3300 MPa 5mm/min, 10 N EN ISO 604
    抗压强度 20/38/96 MPa EN ISO 604
    冲击强度(简支梁) 29 kJ/m2 最大 7.5J DIN EN ISO 179-1eU
    邵氏硬度 87 D DIN EN ISO 868
  • product-technical-detail-collapse-item-1-lvl-1
    热性能 性能值 单位 参数 标准
    玻璃化转变温度 97 C DIN EN ISO 11357
    熔点 281 C DIN EN ISO 11357
    热导率 0.25 W/(k*m) ISO 22007-4:2008
    比热容 1.0 J/(g*K) ISO 22007-4:2008
    工作温度 260 C 短期 NN
    工作温度 230 C 长期 -
    热膨胀(线性热膨胀系数) 6 10-5*1/K 23-60°C,挤出方向. DIN EN ISO 11359-1;2
    热膨胀(线性热膨胀系数) 7 10-5*1/K 23-100°C,挤出方向. DIN EN ISO 11359-1;2
    热膨胀(线性热膨胀系数) 12 10-5*1/K 100-150°C,挤出方向. DIN EN ISO 11359-1;2
  • product-technical-detail-collapse-item-2-lvl-1
    电性能 性能值 单位 参数 标准
    比表面电阻 1014 DIN IEC 60093
    比体积电阻 1014 Ω*cm DIN IEC 60093
  • product-technical-detail-collapse-item-3-lvl-1
    其他性能 性能值 单位 参数 标准
    耐热水浴、耐碱液 + - -
    UL94阻燃级别 V0 - 相当于 DIN IEC 60695-11-10;
    耐候性 - - -
    吸水率 <0.01 - 0.01 % DIN EN ISO 62
  • product-technical-detail-collapse-item-4-lvl-1
    相关费用 性能值 单位 参数 标准
    相关欧元成本从€到€€€€€€ €€€

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